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产品名称:
半导体特气检漏仪
产品型号:
703
产品展商:
金坛市泰纳仪器厂
简单介绍
ABC
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半导体特气检漏仪
的详细介绍
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| 型号：XP-703D
（自动吸引式）
半导体特气检漏仪 |
 特点：
¬ 最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
¬ 采用声光报警。
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规格
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型 号 |
XP-703D |
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检测对象气体 |
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） |
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检测原理 |
热线型半导体式 |
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采样方式 |
自动吸引式 |
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可检测浓度
（单位：ppm） |
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
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检测表示 |
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
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应答速度 |
10秒以内 | |
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