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  • 产品名称：半导体特气检漏仪

  • 产品型号：703
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简单介绍：
ABC
详情介绍：
型号：XP-703D 

  （自动吸引式） 

  半导体特气检漏仪  

特点：

    ¬       *适合于检测半导体特气的微量泄漏。

    ¬       采用声光报警。

  规格

型       号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理

专线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

（单位：ppm）

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内

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